一天后,魔都浦东国际机场。
一架湾流G700缓缓滑入停机位,舱门打开,陈豪大步走下舷梯,身后跟着铁军和几名天御安保的精干人员。
秦若冰早已等在廊桥边,看见人便快步迎上来,给了他一个结结实实的拥抱:“豪哥,回来了!要不要先回住处休息一下?”
陈豪低头轻轻吻了下她的发顶,手掌拍了拍她的后背,语气里满是急切:
“不用了,直接去天行基地。我等这一天,等太久了。”
秦若冰捂嘴轻笑一声,挽住他的胳膊往车队走:“好,都听你的。”
四十分钟后,车队缓缓驶入天行基地,稳稳停在那个大型无尘车间门口。
经过三道风淋除尘,换上全套无尘静电服,陈豪跟着秦若冰走进组装车间。
刚一踏入,他的目光便被车间深处那台被无数管线缠绕的庞然大物牢牢吸住。
整机通体哑光银白,高度超过五米,占地面积抵得上半个篮球场。
无数精密到微米级的机械结构层层叠加,管路与光束纵横交错。
此时它安静地矗立在无尘室中央,浑身散发着一种撼人心魄的分量。
EUV光刻机。
人类工业文明皇冠上的明珠。
“豪哥,回神啦。”秦若冰轻轻推了推发愣的陈豪,压低声音,“王部长、黄院士都在前面控制室呢。”
陈豪这才回过神,压下心里的激荡,激动道:“我二叔也来了?走,我们快过去。”
两人快步走向控制室,隔着玻璃幕墙,老远就听见黄恩平带着颤音的喊声:“最后一步校验!光源功率稳定!反射镜组校准完毕!真空环境达标!”
“二叔,三姑父。”陈豪走过去,笑着打招呼。
闻言,王胜利猛地转过身,上前重重拍了拍他的胳膊:“你小子可算赶回来了!再晚一步,就要错过这载入史册的一刻了!”
“哪能错过。”陈豪笑了笑,目光又落回那台巨兽身上,“这一天,我也等了很久。”
一旁的黄恩平放下手里的对讲机,转过头看向他,脸上是压抑不住的兴奋:“小豪,你来得正好。所有系统全功能调试完毕,就差最后一步启动了。”
他郑重地看着陈豪,语气中满是对陈豪的肯定:“这台机器,是因为你才有的。所以这启动键,得你来按。”
王胜利在一旁重重点头,附和道:“对!小豪,你来开启这个,属于我们中国人的历史时刻。”
陈豪深吸一口气,郑重点头:“好。”
黄恩平领着他走进核心控制室。
房间里所有人都齐刷刷看过来,目光里有激动、有期待。
黄恩平拿起对讲机,声音透过扩音器传遍整个无尘车间,带着不易察觉的颤抖:
“各小组注意!国产EUV样机首次全链路曝光测试,倒计时……”
“十、九、八……”
陈豪站在控制台前,感觉自己的心跳正跟着数字一起,一下下砸在胸腔里。
“七、六、五……”
玻璃幕墙后,银白色的机器内部,一排排指示灯由红转绿,仿佛沉睡的巨兽睁开了眼睛。
“四、三、二……”
全场死寂,所有人屏住了呼吸,齐齐看向场中的钢铁巨兽。
“一!启动!”
话音落地,陈豪抬手猛地拍下那颗红色的启动键。
嗡!
一声低沉的震鸣传遍车间。
一道肉眼不可见的极紫外光束,从光源发生器中激射而出,经过十面超高精度反射镜层层折射、收敛、聚焦,最终精准地落在那片直径三百毫米的硅晶圆上。
13.5纳米。
这是人类目前能够掌控的最短波长的光。
光束在晶圆表面停留了不到零点零一秒,却像过了一个世纪那么漫长。
“曝光完成!”
“精度检测中……”
黄恩平死死盯着检测屏幕,声音颤抖大声汇报着数据:
“线宽……13.5nm,达标!”
“套刻精度……1.1nm,达标!”
话音落地,全场沉寂了一秒。
“成功了!!!”
不知道是谁先喊了一声,紧接着,整个车间像被点燃的火药桶,瞬间炸开!
一名年过六旬的老教授手里的记录板“啪嗒”掉在地上,他猛地捂住脸,肩膀剧烈地抖动,泪水从指缝里汹涌而出。
莱恩团队里的年轻英国工程师“扑通”跪在地上,双手抱着头,嘴里喃喃反复:“My god……we did it……we actually did it……”
王胜利转过身,用力拍着陈豪的肩膀,声音低沉道:“好……好小子……你做到了……我们真的做到了……”
陈豪没有说话。
他仰头看着那台安静矗立的银