黄恩平停顿了一下,继续道:“光源波长13.5纳米。极紫外光源,自主可控。”
台下,几位老院士猛地直起了腰。
“套刻精度,”黄恩平的声音渐渐平稳,“1.1纳米。达到国际顶尖水平。”
后排记者对着录音笔开始疯狂低声记录。
“硅晶圆吞吐量,”黄恩平深吸一口气,目光扫过全场,最后落在角落里那个金发碧眼的男人脸上,“每小时处理……二百四十片。”
他顿了顿,一字一顿:
“超越ASML最新一代的二百二十片。”
“轰!”
会场内像被投入了一颗深水炸弹,瞬间炸开!
各种抽气声,惊呼声,以及不敢置信的议论声想遍全场,会场瞬间变成了菜市场。
“不可能!”范德伯格猛地站起身,脸色刹那间变得铁青,他顾不上场合,用英语咆哮道,“你们在撒谎!这是伪造的数据!ASML花了三十年才达到220片,你们怎么可能……”
没有人理会他, 全场的目光都死死盯着台上的黄恩平,盯着他手中那张薄薄的参数表,盯着他身后屏幕上那台安静矗立的钢铁巨兽。
黄恩平的声音陡然拔高,像一把出鞘的利剑,斩断了所有质疑:
“最重要的是,‘麒麟’的核心零部件自主化率”
他深吸一口气,像是要把这几十年憋在胸口的所有屈辱、所有不甘都在这一刻吐出来一样:
“百分之一百!”
全场哗然!
百分之百!自主化率!
这意味着什么?
这意味着这台光刻机,从光源到反射镜,从真空腔到控制系统,几乎每一颗螺丝钉都是中国人自己造的!
这意味着西方苦心经营了几十年的技术封锁,在这一刻,彻底被打破!
“不可能……”范德伯格的笑容彻底僵死在脸上,他踉跄着后退半步,一屁股跌回椅子上,嘴里喃喃自语,“这不可能……你们没有我们的供应商,没有我们的专利授权,没有……”
“范德伯格先生。”
陈豪终于开口了。声音通过话筒清晰传遍全场,压过了所有喧嚣。
他的目光落在那个脸色惨白的高大男人身上,嘴角微微上扬,平淡道:
“是不是撒谎,看完演示就知道了。”
他抬手,对着话筒沉声道:
“通知天行基地,开始现场演示。”
大屏幕无尘车间内,一名工程师的手悬在启动键上方,微微颤抖。
听见指示,他深吸一口气,猛地拍下!
“嗡!”
一声低沉的震鸣声,通过音响传遍会场的每一个角落。
一道肉眼不可见的极紫外光束,从光源发生器中激射而出,像一条被驯服的银色蛟龙,经过十面超高精度反射镜层层折射、收敛、聚焦,最终精准地落在那片直径三百毫米的硅晶圆上。
全场死寂。
两千个人,两千双眼睛,死死盯着那块屏幕。
空气仿佛凝固了,时间仿佛停滞了。
所有人都屏住了呼吸,连心跳声都似乎被某种无形的力量压了下去。
黄恩平死死攥着话筒,看着屏幕上的时间,十五秒。
这十五秒过后,屏幕右下角,检测结果弹出。
第一行:线宽:13.5nm,达标!
第二行:套刻精度:1.1nm,达标!
第三行:良率:99.5%,达标!
“轰!!”
整个会场,瞬间炸开,所有人都发出了一声不可思议的惊呼。
而与此同时,这场面向全球直播的发布会弹幕区,也在同一秒彻底疯了。
“Oh my god!我看到了什么?!居然是真的EUV光刻机!99.5%的良率?!”
“这肯定是AI合成的!中国人不可能造出来,这太假了!ASML花了三十年才做到的事,他们怎么可能一夜之间就成了?”
“假的?楼上的睁开眼睛看看!这是实时连线无尘车间,现场曝光现场出检测结果,你告诉我怎么造假?!”
“我们中国也有自己的顶尖技术了!666!我爱你中国!”
“作为一个半导体行业干了十五年的老兵,我现在手在抖。
我们被卡了这么多年脖子,今天……今天终于站起来了!”
“等等,吞吐量240片?比ASML最新的还高20片?这不是追平,这是超越啊!”
“超越?呵呵,肯定是数据造假!等第三方检测结果出来,看他们怎么收场!”
“造假?我建议你去好好洗洗眼,前面一排国宝级老院士都坐在现场,你告诉我他们陪着造假?脑子是个好东西!”
“之前说‘就算给图纸二十年也造不出来’的温宁克呢?出来走两步?脸疼不疼?”
“